RTPCVD SiC Rénggi wäit an industriellen a wëssenschaftleche Beräicher an héich Temperaturen a korrosive Ëmfeld benotzt. Et spillt eng wichteg Roll an der Hallefleitfabrikatioun, Optoelektronik, Präzisiounsmaschinnen a chemescher Industrie. Spezifesch Uwendungen enthalen:
1. Semiconductor Fabrikatioun:RTP CVD SiC Réngkann fir Heizung an Ofkillung vun Halbleiterausrüstung benotzt ginn, stabil Temperaturkontrolle ubidden an d'Genauegkeet an d'Konsistenz vum Prozess garantéieren.
2. Optoelektronik: Wéinst senger exzellenter thermescher Konduktivitéit an héijer Temperaturresistenz, RTPCVD SiC Réngkann als Ënnerstëtzung an Hëtzt dissipation Material fir Laser benotzt ginn, Léngen OPTIC Kommunikatioun Equipement an opteschen Komponente.
3. Präzisiounsmaschinnen: RTP CVD SiC Réng kënne benotzt ginn fir Präzisiounsinstrumenter an Ausrüstung an héich Temperaturen a korrosive Ëmfeld, wéi Héichtemperaturofen, Vakuumgeräter a chemesche Reaktoren.
4. Chemesch Industrie: Duerch seng Korrosiounsbeständegkeet a chemesch Stabilitéit kënnen RTP CVD SiC Réng an Containeren, Päifen a Reaktoren an chemesche Reaktiounen a katalytesche Prozesser benotzt ginn.
Epi System
RTP System
CVD System
Produkt Leeschtung:
1. Trefft de Prozess ënner 28nm
2. Super corrosion Resistenz
3. Super propper Leeschtung
4. Super hardness
5. Héich Dicht
6. Héich Temperatur Resistenz
7. Verschleißbeständegkeet
Produit Applikatioun:
Silicon Carbide Materialien hunn d'Charakteristiken vun héich hardness, zouzedrécken Resistenz, corrosion Resistenz an héich Temperatur Stabilitéit. Produkter mat exzellenter ëmfaassender Leeschtung gi wäit an dréchen Ätz- an TF / Diffusiounsprozesser benotzt.
Produkt Leeschtung:
1. Trefft de Prozess ënner 28nm
2. Super corrosion Resistenz
3. Super propper Leeschtung
4. Super hardness
5. Héich Dicht
6. Héich Temperatur Resistenz
7. Verschleißbeständegkeet
Komposit Prozess Entwécklung:
Graphit + Sic Beschichtung
Solide CvD sic
Sinter SiC+CVD
SicSintered SiC
Multiple Produkttyp Entwécklung:
Ring
Dësch
Susceptor
Dusche Kapp
