Semicera High PuritySilicon Carbide Paddleass virsiichteg konstruéiert fir déi streng Ufuerderunge vun de modernen Halbleiter Fabrikatiounsprozesser z'erreechen. DëstSiC Cantilever Paddleexcels an héich-Temperatur Ëmfeld, bitt oniwwertraff thermesch Stabilitéit a mechanesch Haltbarkeet. D'SiC Cantilever Struktur ass gebaut fir extrem Konditiounen ze widderstoen, fir zouverlässeg Wafer Handhabung duerch verschidde Prozesser ze garantéieren.
Ee vun de Schlëssel Innovatiounen vun derSiC Paddelass säi liicht awer robusten Design, deen eng einfach Integratioun an existente Systemer erlaabt. Seng héich thermesch Konduktivitéit hëlleft Wafer Stabilitéit während kriteschen Phasen wéi Ätzen an Oflagerung ze halen, de Risiko vu Wafer Schued ze minimiséieren a méi héich Produktiounsausgaben ze garantéieren. D'Benotzung vu High-Density Silicium Carbide an der Paddelkonstruktioun verbessert seng Resistenz géint Verschleiung, suergt fir verlängert Operatiounsdauer an reduzéiert d'Bedierfnes fir heefeg Ersatzstécker.
Semicera leet e staarke Wäert op Innovatioun, liwwert engSiC Cantilever Paddledéi net nëmmen d'Industrienormen entsprécht, mee iwwerschreift. Dëse Paddel ass optimiséiert fir ze benotzen a verschiddene Hallefleitapplikatiounen, vun Oflagerung bis Ätzen, wou Präzisioun an Zouverlässegkeet entscheedend sinn. Duerch d'Integratioun vun dëser modernste Technologie kënnen d'Fabrikanten eng verbessert Effizienz, reduzéierter Ënnerhaltskäschte a konsequent Produktqualitéit erwaarden.
Physikalesch Eegeschafte vum Rekristalliséierte Siliziumkarbid | |
Immobilie | Typesch Wäert |
Aarbechtstemperatur (°C) | 1600°C (mat Sauerstoff), 1700°C (reduzéierend Ëmfeld) |
SiC Inhalt | > 99,96% |
Gratis Si Inhalt | < 0,1% |
Bulk Dicht | 2,60-2,70 g/cm3 |
Anscheinend Porositéit | < 16% |
Kompressiounsstäerkt | > 600 MPa |
Kale Béie Kraaft | 80-90 MPa (20°C) |
Hot Béie Kraaft | 90-100 MPa (1400°C) |
Thermesch Expansioun @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Wärmeleitung @1200°C | 23 W/m•K |
Elastesche Modul | 240 GPa |
Wärmeschockbeständegkeet | Extrem gutt |