Solid CVD SILICON CARBIDE Deeler ginn unerkannt als primär Wiel fir RTP / EPI Réng a Basen a Plasma aetch Kavitéit Deeler déi bei héije System erfuerderlech Operatiounstemperaturen (> 1500 ℃) funktionnéieren, d'Ufuerderunge fir Rengheet si besonnesch héich (> 99.9995%) an d'Performance ass besonnesch gutt wann d'Resistenz géint Chemikalien besonnesch héich ass. Dës Materialien enthalen keng sekundär Phasen um Kärrand, sou datt hir Komponenten manner Partikel produzéieren wéi aner Materialien. Zousätzlech kënnen dës Komponenten gereinegt ginn andeems Dir waarm HF / HCl mat wéineg Degradatioun benotzt, wat zu manner Partikelen an e méi laang Liewensdauer resultéiert.
