Dënn Filmer, déi an der Hallefleitfabrikatioun benotzt ginn, hunn all Resistenz, a Filmresistenz huet en direkten Impakt op d'Leeschtung vum Apparat. Mir moossen normalerweis net d'absolut Resistenz vum Film, awer benotze d'Blatresistenz fir et ze charakteriséieren.
Wat sinn Blatresistenz a Volumenresistenz?
Volumenresistivitéit, och bekannt als Volumenresistivitéit, ass eng inherent Eegeschafte vun engem Material dat charakteriséiert wéi vill d'Material de Stroum vum elektresche Stroum behënnert. Allgemeng benotzt Symbol ρ representéiert, d'Eenheet ass Ω.
Blatresistenz, och bekannt als Blatresistenz, den englesche Numm ass Blatresistenz, wat op de Resistenzwäert vum Film pro Eenheetsfläch bezitt. Allgemeng benotzt Symboler Rs oder ρs fir auszedrécken, d'Eenheet ass Ω/sq oder Ω/□
D'Relatioun tëscht deenen zwee ass: Blatresistenz = Volumenresistenz / Filmdicke, dat heescht Rs =ρ/t
Firwat Moosse Blat Resistenz?
D'Messung vun der absoluter Resistenz vun engem Film erfuerdert präzis Wëssen iwwer déi geometresch Dimensiounen vum Film (Längt, Breet, Dicke), déi vill Variabelen huet a ganz komplex ass fir ganz dënn oder onregelméisseg geformte Filmer. D'Blatresistenz ass nëmme mat der Dicke vum Film verbonnen a ka séier an direkt getest ginn ouni komplizéiert Gréisst Berechnungen.
Wéi eng Filmer musse Blatresistenz moossen?
Generell musse konduktiv Filmer a Hallefleitfilmer fir Quadratresistenz gemooss ginn, wärend Isoléierfilmer net gemooss musse ginn.
Bei Hallefleit Doping gëtt d'Blattresistenz vu Silizium och gemooss.
Wéi moosst Quadratresistenz?
Déi véier-Sonde Method gëtt allgemeng an der Industrie benotzt. Déi véier-Sonde Method kann Quadratresistenz moossen, rangéiert vun 1E-3 bis 1E + 9Ω / sq. D'Véier-Sonde-Methode kann Miessfehler vermeiden wéinst Kontaktresistenz tëscht der Sonde an der Probe.
Miessmethoden:
1) Setzt véier linear arrangéiert Sonden op der Uewerfläch vun der Probe.
2) Fëllt e konstante Stroum tëscht den zwee baussenzege Sonden.
3) Bestëmmt d'Resistenz andeems Dir de Potenzialënnerscheed tëscht den zwou internen Sonden moosst
RS: Blatresistenz
ΔV: Spannungsännerung tëscht internen Sonden gemooss
I: Strom applizéiert tëscht baussenzege Sonden
Post Zäit: Mar-29-2024