ZënterKrëppgëtt als Container benotzt an et gëtt Konvektioun dobannen, well d'Gréisst vum generéierten Eenkristallen eropgeet, Hëtztkonvektioun an d'Temperaturgradientuniformitéit méi schwéier ze kontrolléieren. Andeems Dir Magnéitfeld bäidréit fir déi konduktiv Schmelz op Lorentz Kraaft ze maachen, kann d'Konvektioun verlangsamt ginn oder souguer eliminéiert ginn fir qualitativ héichwäerteg Eenkristall Silizium ze produzéieren.
No der Aart vu Magnéitfeld, kann et an horizontal Magnéitfeld, vertikal Magnéitfeld an CUSP Magnéitfeld ënnerdeelt ginn:
Vertikal Magnéitfeld kann d'Haaptkonvektioun aus strukturelle Grënn net eliminéieren a gëtt selten benotzt.
D'Richtung vun der Magnéitfeld Komponent vun der horizontal Magnéitfeld ass senkrecht zu der Haaptrei Hëtzt Konvektioun an deelweis gezwongen Konvektioun vun der Kräizer Mauer, déi effektiv Bewegung inhibit kann, erhalen der flaachness vun der Wuesstem Interface, a Wuesstem Sträifen reduzéieren.
CUSP Magnéitfeld huet méi eenheetlech Flux an Wärmetransfer vu Schmelz wéinst senger Symmetrie, sou datt d'Fuerschung iwwer vertikalen a CUSP Magnéitfelder Hand an Hand gaang ass.
A China huet d'Xian University of Technology d'Produktioun an d'Kristallzuchsexperimente vu Silizium-Eenkristallen realiséiert mat magnetesche Felder fréier. Seng Haaptprodukter sinn 6-8in populär Typen, déi op de Siliziumwafermaart fir Solar-Photovoltaikzellen gezielt sinn. An auslännesche Länner, wéi KAYEX an den USA an CGS an Däitschland, sinn hir Haaptprodukter 8-16in, déi gëeegent sinn fir eenzel Kristallsilisiumstäben um Niveau vun ultra-grouss integréierte Circuiten an Hallefleitungen. Si hunn e Monopol am Beräich vun Magnéitfeld fir de Wuesstem vun grouss-Duerchmiesser héich-Qualitéit Single Kristaller a sinn am meeschte representativ.
D'Magnéitfeldverdeelung am Kreesgebitt vum Eenkristallwachstumssystem ass dee kriteschen Deel vum Magnéit, dorënner d'Kraaft an d'Uniformitéit vum Magnéitfeld um Rand vun der Krees, dem Zentrum vun der Kräizung, an déi passend. Distanz ënner der flësseger Uewerfläch. Déi allgemeng horizontal an eenheetlech transversal Magnéitfeld, déi magnetesch Kraaftlinne si senkrecht op d'Kristallwachsachs. Laut dem magnetesche Effekt an dem Ampere Gesetz ass d'Spule am nootsten un de Rand vun der Krëpp an d'Feldstäerkt ass déi gréisst. Wéi d'Distanz eropgeet, erhéicht d'Loftmagnetesch Resistenz, d'Feldstäerkt hëlt graduell erof, an et ass déi klengst am Zentrum.
D'Roll vum superleitend Magnéitfeld
Thermesch Konvektioun hemmen: An der Verontreiung vun engem externen Magnéitfeld, wäert geschmollte Silizium natierlech Konvektioun produzéieren wärend der Heizung, wat zu enger ongläicher Verdeelung vun Gëftstoffer an der Bildung vu Kristalldefekter féiere kann. Dat externt Magnéitfeld kann dës Konvektioun ënnerdrécken, wat d'Temperaturverdeelung bannent der Schmelz méi eenheetlech mécht an déi ongläich Verdeelung vun Gëftstoffer reduzéiert.
Kontrolléiere vum Kristallwuesstumsrate: D'Magnéitfeld kann den Taux an d'Richtung vum Kristallwachstum beaflossen. Duerch präzis Kontroll vun der Stäerkt an der Verdeelung vum Magnéitfeld kann de Kristallwachstumsprozess optimiséiert ginn an d'Integritéit an d'Uniformitéit vum Kristall kënne verbessert ginn. Wärend dem Wuesstum vun eenzel Kristallsilisium kënnt Sauerstoff an d'Silizium Schmelz haaptsächlech duerch d'relativ Beweegung vun der Schmelz an der Krees. D'Magnéitfeld reduzéiert d'Chance datt Sauerstoff mat der Siliziumschmelz kontaktéiert gëtt andeems d'Konvektioun vun der Schmelz reduzéiert gëtt, an doduerch d'Opléisung vum Sauerstoff reduzéiert. A verschiddene Fäll kann dat externt Magnéitfeld d'thermodynamesch Bedéngungen vun der Schmelz änneren, sou wéi d'Verännerung vun der Uewerflächespannung vun der Schmelz, wat d'Verflüchtung vum Sauerstoff hëllefe kann, an domat de Sauerstoffgehalt an der Schmelz reduzéiert.
Reduzéiert d'Opléisung vu Sauerstoff an aner Gëftstoffer: Sauerstoff ass eng vun den allgemenge Gëftstoffer am Wuesstum vu Siliziumkristalle, wat d'Qualitéit vum Kristall verschlechtert. D'Magnéitfeld kann de Sauerstoffgehalt an der Schmelz reduzéieren, doduerch d'Opléisung vum Sauerstoff am Kristall reduzéieren an d'Rengheet vum Kristall verbesseren.
Verbessert d'intern Struktur vum Kristall: D'Magnéitfeld kann d'Defektstruktur am Kristall beaflossen, sou wéi Dislokatiounen a Kärgrenzen. Andeems Dir d'Zuel vun dëse Mängel reduzéiert an hir Verdeelung beaflosst, kann d'Gesamtqualitéit vum Kristall verbessert ginn.
D'elektresch Eegeschafte vu Kristalle verbesseren: Zënter Magnéitfelder hunn e wesentlechen Effekt op d'Mikrostruktur beim Kristallwachstum, kënne se d'elektresch Eegeschafte vu Kristalle verbesseren, wéi d'Resistivitéit an d'Träger Liewensdauer, déi entscheedend sinn fir d'Fabrikatioun vun High-Performance Hallefleitgeräter.
Wëllkomm Clienten aus der ganzer Welt fir eis fir eng weider Diskussioun ze besichen!
https://www.semi-cera.com/
https://www.semi-cera.com/tac-coating-monocrystal-growth-parts/
https://www.semi-cera.com/cvd-coating/
Post Zäit: Jul-24-2024