A Plasma Ätsausrüstung spillen Keramikkomponenten eng entscheedend Roll, dorënner de Fokusring. De Fokusring, ronderëm de Wafer plazéiert an am direkte Kontakt mat him, ass essentiell fir de Plasma op de Wafer ze fokusséieren andeems d'Spannung op de Ring applizéiert gëtt. Dëst verbessert d'Un ...
Liest méi