Semicerastellt deSemiconductor Kassett, e wesentlecht Tool fir de sécheren an effiziente Ëmgank vu Waferen am ganzen Hallefleitproduktiounsprozess. Konstruéiert mat héijer Präzisioun, garantéiert dës Kassett datt Är Wafere sécher gelagert a transportéiert ginn, an hir Integritéit op all Etapp behalen.
Superior Schutz an HaltbarkeetDéiSemiconductor Kassettvun Semicera ass gebaut fir maximal Schutz fir Är Waferen ze bidden. Konstruéiert aus robusten, kontaminéierte resistente Materialien, schützt et Är Wafere vu potenziellen Schued a Kontaminatioun, sou datt et eng ideal Wiel fir Cleanroom Ëmfeld mécht. Den Design vun der Kassett miniméiert d'Partikelgeneratioun a garantéiert datt Wafere onberéiert a sécher bleiwen beim Ëmgank an dem Transport.
Erweidert Design fir optimal LeeschtungSemiceraSemiconductor KassettFonctiounen eng virsiichteg konstruéiert Design datt präziist wafer Ausriichtung gëtt, reduzéieren de Risiko vun misalignment a mechanesch Schued. D'Schlitze vun der Kassett si perfekt opgedeelt fir all Wafer sécher ze halen, verhënnert all Bewegung déi zu Kratzer oder aner Mängel resultéiere kann.
Villsäitegkeet a KompatibilitéitDéiSemiconductor Kassettass villsäiteg a kompatibel mat verschiddene wafer Gréissten, mécht et gëeegent fir verschidden Etappe vun semiconductor Fabrikatioun. Egal ob Dir mat Standard oder personaliséierte Wafer Dimensiounen schafft, passt dës Kassett un Är Bedierfnesser un, bitt Flexibilitéit an Äre Fabrikatiounsprozesser.
Streamlined Handhabung an EffizienzEntworf mat de Benotzer vergiessen, derSemicera Semiconductor Kassettass liicht an einfach ze handhaben, wat fir séier an effizient Luede an Ausluede erlaabt. Dësen ergonomesche Design spuert net nëmmen Zäit, awer reduzéiert och de Risiko vu mënschleche Feeler, a garantéiert glat Operatiounen an Ärer Ariichtung.
Treffen Industrie StandardenSemicera garantéiert datt deSemiconductor Kassettentsprécht den héchste Industriestandards fir Qualitéit an Zouverlässegkeet. All Kassett mécht rigoréis Tester fir ze garantéieren datt se konsequent ënner den usprochsvollen Konditioune vun der Halbleiterfabrikatioun leeft. Dës Engagement fir Qualitéit garantéiert datt Är Wafere ëmmer geschützt sinn, déi héich Standarden erhalen, déi an der Industrie erfuerderlech sinn.
Artikelen | Produktioun | Fuerschung | Dummy |
Crystal Parameteren | |||
Polytyp | 4H | ||
Uewerfläch Orientéierung Feeler | <11-20 >4±0,15° | ||
Elektresch Parameteren | |||
Dopant | n-Typ Stickstoff | ||
Resistivitéit | 0,015-0,025 Ohm·cm | ||
Mechanesch Parameteren | |||
Duerchmiesser | 150,0 ± 0,2 mm | ||
Dicke | 350 ± 25 μm | ||
Primär flaach Orientéierung | [1-100] ± 5° | ||
Primär flaach Längt | 47,5 ± 1,5 mm | ||
Secondaire Appartement | Keen | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Boun | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Front (Si-Face) Rauhegkeet (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Struktur | |||
Mikropipe Dicht | <1 e/cm2 | <10 e/cm2 | <15 e/cm2 |
Metal Gëftstoffer | ≤5E10 Atom/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Front Qualitéit | |||
Front | Si | ||
Surface Finish | Si-Gesiicht CMP | ||
Partikel | ≤60ea/wafer (Gréisst≥0.3μm) | NA | |
Kratzer | ≤5 ea/mm. Kumulativ Längt ≤ Duerchmiesser | Kumulativ Längt≤2*Duerchmiesser | NA |
Orangeschielen / Pits / Flecken / Sträifen / Rëss / Kontaminatioun | Keen | NA | |
Kantchips / Abriecher / Fraktur / Hexplacke | Keen | ||
Polytype Beräicher | Keen | Kumulative Beräich ≤20% | Kumulativ Beräich ≤30% |
Front Laser Marquage | Keen | ||
Zréck Qualitéit | |||
Back Finish | C-Gesiicht CMP | ||
Kratzer | ≤5ea/mm, Kumulativ Längt≤2*Duerchmiesser | NA | |
Réckdefekter (Randchips/Abrécken) | Keen | ||
Réck roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Réck Laser Marquage | 1 mm (vun uewen Rand) | ||
Rand | |||
Rand | Chamfer | ||
Verpakung | |||
Verpakung | Epi-prett mat Vakuumverpackung Multi-Wafer Kassett Verpakung | ||
* Notizen: "NA" heescht keng Ufro Artikelen déi net ernimmt kënne bezéie sech op SEMI-STD. |