De Solid SiC Focus Ring vu Semicera ass e modernste Komponent entworf fir d'Ufuerderunge vun der fortgeschratter Hallefleitfabrikatioun z'erreechen. Gemaach aus héich RengheetSilicon Carbide (SiC), Dëse Fokusring ass ideal fir eng breet Palette vun Uwendungen an der Hallefleitindustrie, besonnesch anCVD SiC Prozesser, Plasma Ätzen, anICPRIE (Induktiv Gekoppelt Plasma Reaktiv Ion Ätz). Bekannt fir seng aussergewéinlech Verschleißbeständegkeet, héich thermesch Stabilitéit, a Rengheet, suergt et fir eng laang dauerhaft Leeschtung an héije Stress Ëmfeld.
An semiconductorwaferVeraarbechtung, Solid SiC Focus Rings si entscheedend fir präzis Ätzen während dréchen Ätz- a Wafer Ätzen Uwendungen z'erhalen. De SiC Fokusring hëlleft beim Fokuséiere vum Plasma wärend Prozesser wéi Plasma Ätzmaschinn Operatiounen, sou datt et onverzichtbar ass fir Ätzen vu Siliziumwafers. De zolitte SiC Material bitt oniwwertraff Resistenz géint Erosioun, garantéiert d'Längegkeet vun Ärem Ausrüstung a miniméiert d'Dauerzäit, wat essentiell ass fir den héije Duerchgang an der Halbleiterfabrikatioun z'erhalen.
De Solid SiC Focus Ring vu Semicera ass konstruéiert fir extrem Temperaturen an aggressiv Chemikalien ze widderstoen, déi allgemeng an der Hallefleitindustrie begéint sinn. Et ass speziell erstallt fir ze benotzen an héichpräzis Aufgaben wéi zCVD SiC Beschichtungen, wou Rengheet an Haltbarkeet wichteg sinn. Mat exzellenter Widderstand géint thermesch Schock, garantéiert dëst Produkt eng konsequent a stabil Leeschtung ënner den härteste Bedéngungen, inklusiv Belaaschtung fir héich Temperaturen wärendwaferÄtzen Prozesser.
An Hallefleitapplikatiounen, wou Präzisioun an Zouverlässegkeet Schlëssel sinn, spillt de Solid SiC Focus Ring eng pivotal Roll bei der Verbesserung vun der Gesamteffizienz vun Ätzprozesser. Säin robusten, héich performante Design mécht et déi perfekt Wiel fir Industrien déi héich Rengheetskomponenten erfuerderen, déi ënner extremen Konditiounen ausféieren. Ob benotzt anCVD SiC RingUwendungen oder als Deel vum Plasma Ätzprozess, Semicera's Solid SiC Focus Ring hëlleft d'Performance vun Ärer Ausrüstung ze optimiséieren, bitt d'Längegkeet an d'Zouverlässegkeet déi Är Produktiounsprozesser verlaangen.
Schlëssel Features:
• Superior Verschleißbeständegkeet an héich thermesch Stabilitéit
• High-Purity Solid SiC Material fir verlängert Liewensdauer
• Ideal fir Plasma Ätzen, ICP RIE, an dréchen Ätzapplikatiounen
• Perfekt fir Wafer Ätzen, besonnesch an CVD SiC Prozesser
• Zuverlässeg Leeschtung an extremen Ëmfeld an héich Temperaturen
• Assuréiert Präzisioun an Effizienz bei Ätzen vu Siliziumwaferen
Uwendungen:
• CVD SiC Prozesser an semiconductor Fabrikatioun
• Plasma Äss an ICP RIE Systemer
• Dréchen Ätz- a Wafer Ätzprozesser
• Ätzen an Oflagerung an Plasma Ätzmaschinnen
• Präzisioun Komponente fir wafer Réng an CVD SiC Réng
Mikroskopesch Morphologie vun der CVD SiC Uewerfläch
Mikroskopesch Morphologie vum CVD SiC Querschnitt
