Semicera bitt spezialiséiert Tantalkarbid (TaC) Beschichtungen fir verschidde Komponenten an Träger.Semicera féierende Beschichtungsprozess erméiglecht Tantalkarbid (TaC) Beschichtungen fir héich Rengheet, héich Temperaturstabilitéit an héich chemesch Toleranz z'erreechen, d'Produktqualitéit vu SIC / GAN Kristalle an EPI Schichten ze verbesseren (Graphit Beschichtete TaC susceptor), an d'Liewen vun de Schlësselreakterkomponenten verlängeren. D'Benotzung vun Tantal Carbide TaC Beschichtung ass de Randproblem ze léisen an d'Qualitéit vum Kristallwachstum ze verbesseren, an Semicera huet den Duerchbroch d'Tantalkarbidbeschichtungstechnologie (CVD) geléist, an den internationale fortgeschrattem Niveau erreecht.
Mat dem Entstoe vun 8-Zoll Siliziumkarbid (SiC) Wafere sinn d'Ufuerderunge fir verschidde Hallefleitprozesser ëmmer méi streng ginn, besonnesch fir Epitaxisprozesser wou Temperaturen 2000 Grad Celsius iwwerschreiden kënnen. Traditionell Susceptormaterialien, wéi Grafit, déi mat Siliziumkarbid beschichtet ass, tendéieren bei dësen héijen Temperaturen ze subliméieren, an d'Epitaxieprozess stéieren. Wéi och ëmmer, CVD Tantalkarbid (TaC) adresséiert dëst Thema effektiv, behält Temperaturen bis zu 2300 Grad Celsius a bitt e méi laang Liewensdauer. Kontakt Semicera's Tantal Carbid Beschichtung Hallefmoundfir méi iwwer eis fortgeschratt Léisungen ze entdecken.
No Joer vun Entwécklung, Semicera huet d'Technologie vun eruewertCVD TaCmat de gemeinsame Efforte vum R&D Departement. Mängel sinn einfach am Wuesstumsprozess vu SiC Wafere optrieden, awer nom GebrauchTaC, den Ënnerscheed ass bedeitend. Drënner ass e Verglach vu Wafere mat an ouni TaC, souwéi Simicera 'Deeler fir eenzel Kristallwachstum.
mat an ouni TaC
Nodeems Dir TaC benotzt (riets)
Ausserdeem, Semicera'sTaC-beschichtete Produkterweisen e méi laang Liewensdauer a méi héijer Temperaturresistenz am Verglach zuSiC Beschichtungen.Labormessungen hu gewisen, datt eisTaC Beschichtungenkann konsequent bei Temperaturen bis zu 2300 Grad Celsius fir verlängert Perioden Leeschtunge. Drënner sinn e puer Beispiller vun eise Proben:
TaC Beschichtete susceptor
Grafit mat TaC Beschichtete Reakter
