Tantalkarbid Beschichtete Susceptor Stützplackass eng susceptor oder Ënnerstëtzung Struktur déi mat enger dënnter Schicht bedeckt assTantalkarbid. Dës Beschichtung kann op der Susceptoroberfläche geformt ginn duerch Techniken wéi physesch Dampdepositioun (PVD) oder chemesch Dampdepositioun (CVD), déi dem Susceptor déi superior Eegeschafte vunTantalkarbid.
Semicera bitt spezialiséiert Tantalkarbid (TaC) Beschichtungen fir verschidde Komponenten an Träger.Semicera féierende Beschichtungsprozess erméiglecht Tantalkarbid (TaC) Beschichtungen fir héich Rengheet, héich Temperaturstabilitéit an héich chemesch Toleranz z'erreechen, d'Produktqualitéit vu SIC / GAN Kristalle an EPI Schichten ze verbesseren (Graphit Beschichtete TaC susceptor), an d'Liewen vun de Schlësselreakterkomponenten verlängeren. D'Benotzung vun Tantal Carbide TaC Beschichtung ass de Randproblem ze léisen an d'Qualitéit vum Kristallwachstum ze verbesseren, an Semicera huet den Duerchbroch d'Tantalkarbidbeschichtungstechnologie (CVD) geléist, an den internationale fortgeschrattem Niveau erreecht.
No Joer vun Entwécklung, Semicera huet d'Technologie vun eruewertCVD TaCmat de gemeinsame Efforte vum R&D Departement. Mängel sinn einfach am Wuesstumsprozess vu SiC Wafere optrieden, awer nom GebrauchTaC, den Ënnerscheed ass bedeitend. Drënner ass e Verglach vu Wafere mat an ouni TaC, souwéi Simicera 'Deeler fir Eenkristallwachstum.
D'Haaptmerkmale vun Tantalkarbid Beschichtete Basisstützplacke enthalen:
1. Héichtemperaturstabilitéit: Tantalkarbid huet eng exzellente Héichtemperaturstabilitéit, sou datt d'beschichtete Basisstützplack gëeegent ass fir Ënnerstëtzungsbedürfnisser an héich Temperaturen Aarbechtsëmfeld.
2. Korrosiounsbeständegkeet: Tantalkarbidbeschichtung huet gutt Korrosiounsbeständegkeet, kann chemesch Korrosioun an Oxidatioun widderstoen an d'Liewensdauer vun der Basis verlängeren.
3. Héich Hardness a Verschleißbeständegkeet: Déi héich Härtheet vun der Tantalkarbidbeschichtung gëtt d'Basisstützplack gutt Verschleißbeständegkeet, déi fir Occasiounen gëeegent ass, déi héich Verschleißbeständegkeet erfuerderen.
4. Chemesch Stabilitéit: Tantalkarbid huet héich Stabilitéit op eng Rei vu chemesche Substanzen, sou datt d'beschichtete Basisstützplack gutt an e puer korrosive Ëmfeld funktionnéiert.
mat an ouni TaC
Nodeems Dir TaC benotzt (riets)
Ausserdeem, Semicera'sTaC-beschichtete Produkterweisen e méi laang Liewensdauer a méi héijer Temperaturresistenz am Verglach zuSiC Beschichtungen.Labormessungen hu gewisen, datt eisTaC Beschichtungenkann konsequent bei Temperaturen bis zu 2300 Grad Celsius fir verlängert Perioden Leeschtunge. Drënner sinn e puer Beispiller vun eise Proben:
