SiC BeschichteteGrafit Halfmoon Deelass e Schlësselkomponent deen an de Hallefleitfabrikatiounsprozesser benotzt gëtt, besonnesch fir SiC epitaxial Ausrüstung. Mir benotzen eis patentéiert Technologie fir den Hallefmounddeel mat extrem héijer Rengheet, gudder Beschichtungsuniformitéit an engem exzellente Liewensdauer ze maachen, wéi och héich chemesch Resistenz an thermesch Stabilitéitseigenschaften.