SiC BeschichteteGrafit Halfmoon Deelass e Schlësselkomponent deen an de Hallefleitfabrikatiounsprozesser benotzt gëtt, besonnesch fir SiC epitaxial Ausrüstung.Mir benotzen eis patentéiert Technologie fir den Hallefmound-Deel mat extrem héijer Rengheet, gudder Beschichtungsuniformitéit an engem exzellente Liewensdauer ze maachen, wéi och héich chemesch Resistenz an thermesch Stabilitéitseigenschaften.