Beschreiwung
Semicera's SiC-beschichtete Grafit-Susceptoren ginn konstruéiert mat qualitativ héichwäertege Graphitsubstrater, déi virsiichteg mat Silicon Carbide (SiC) duerch fortgeschratt Chemesch Vapor Deposition (CVD) Prozesser beschichtet ginn. Dësen innovativen Design garantéiert aussergewéinlech Resistenz géint thermesch Schock a chemesch Degradatioun, d'Liewensdauer vum SiC-beschichtete Graphit-Susceptor wesentlech verlängert a garantéiert zouverlässeg Leeschtung am ganzen Hallefleeder-Fabrikatiounsprozess.
Schlëssel Features:
1. Ieweschte thermesch ConductivityDe SiC-beschichtete Grafit-Susceptor weist aussergewéinlech thermesch Konduktivitéit, wat entscheedend ass fir effizient Wärmevergëftung wärend der Hallefleitfabrikatioun. Dës Feature miniméiert thermesch Gradienten op der Wafer Uewerfläch, fördert eenheetlech Temperaturverdeelung wesentlech fir déi gewënscht Halbleitereigenschaften z'erreechen.
2. Robust Chemesch an thermesch Schock ResistenzD'SiC Beschichtung bitt formidabele Schutz géint chemesch Korrosioun an Thermalschock, behalen d'Integritéit vum Grafit-Susceptor och an haart Veraarbechtungsëmfeld. Dës verstäerkte Haltbarkeet reduzéiert d'Downtime a verlängert d'Liewensdauer, bäidréit zu enger erhéiter Produktivitéit a Käschteeffizienz an Halbleiter Fabrikatiounsanlagen.
3. Personnalisatioun fir spezifesch BesoinenEis SiC Beschichtete Grafit Susceptoren kënne personaliséiert ginn fir spezifesch Ufuerderungen a Virléiften ze treffen. Mir bidden eng Rei vu Personnalisatiounsoptiounen, dorënner Gréisst Upassungen a Variatiounen an der Beschichtungsdicke, fir Designflexibilitéit an optimiséiert Leeschtung fir verschidden Uwendungen a Prozessparameter ze garantéieren.
Uwendungen:
UwendungenSemicera SiC Beschichtungen ginn a verschiddene Stadien vun der Halbleiterfabrikatioun benotzt, dorënner:
1. -LED Chip Fabrikatioun
2. -Polysilikonproduktioun
3. -Semiconductor Crystal Wuesstem
4. -Silicon an SiC Epitaxy
5. -Thermesch Oxidatioun an Diffusioun (TO&D)