Déi drëtt Generatioun Hallefleitmaterialien enthalen haaptsächlech SiC, GaN, Diamant, etc., well seng Bandspaltbreet (Eg) méi grouss ass wéi oder gläich wéi 2,3 Elektronenvolt (eV), och bekannt als Breetbandspalt-Hallefuedermaterial. Am Verglach mat der éischter an zweeter Generatioun semiconductor Material, déi drëtt Generatioun semiconductor Materialien hunn d'Virdeeler vun héich thermesch Leit, héich Decompte elektrescht Feld, héich gesättegt Elektronen Migratioun Taux an héich Bindung Energie, déi nei Ufuerderunge vun modern elektronesch Technologie fir héich treffen kann. Temperatur, héich Muecht, héich Drock, héich Frequenz an Stralung Resistenz an aner haart Konditiounen. Et huet wichteg Uwendungsperspektiven an de Beräicher vun der nationaler Verteidegung, Loftfaart, Raumfaart, Uelegfuerschung, optesch Lagerung, asw., a kann Energieverloscht ëm méi wéi 50% reduzéieren a ville strategesche Industrien wéi Breetbandkommunikatioun, Solarenergie, Autosfabrikatioun, Hallefleitbeliichtung, a Smart Gitter, a kann Ausrüstungsvolumen ëm méi wéi 75% reduzéieren, wat e Meilesteen bedeitend ass fir d'Entwécklung vun der mënschlecher Wëssenschaft an der Technologie.
Artikel 项目 | GaN-FS-CU-C50 | GaN-FS-CN-C50 | GaN-FS-C-SI-C50 |
Duerchmiesser | 50,8 ± 1 mm | ||
Dicke厚度 | 350 ± 25 μm | ||
Orientéierung | C Plang (0001) Ofwénkel Richtung M-Achs 0,35 ± 0,15° | ||
Prime Flat | (1-100) 0 ± 0,5 °, 16 ± 1 mm | ||
Secondaire Flat | (11-20) 0 ± 3 °, 8 ± 1 mm | ||
Konduktivitéit | N-Typ | N-Typ | Semi-isoléierend |
Resistivitéit (300K) | < 0,1 Ω·cm | < 0,05 Ω·cm | > 106 Ω·cm |
TTV | ≤ 15 μm | ||
BOU | ≤ 20 μm | ||
Ga Gesiicht Fläch Roughness | < 0,2 nm (poléiert); | ||
oder < 0,3 nm (poléiert an Uewerfläch Behandlung fir Epitaxie) | |||
N Gesiicht Fläch Roughness | 0,5 ~ 1,5 μm | ||
Optioun: 1 ~ 3 nm (fein Buedem); < 0,2 nm (poléiert) | |||
Dislokatioun Dicht | Vun 1 x 105 bis 3 x 106 cm-2 (berechent duerch CL)* | ||
Makro Defekt Dicht | < 2 cm-2 | ||
Benotzbar Beräich | > 90% (Ausgrenzung vun Rand- a Makrodefekter) | ||
Kann no Client Ufuerderunge personaliséiert ginn, verschidde Struktur vu Silizium, Saphir, SiC baséiert GaN epitaxial Blat. |