D'thermesch Oxidschicht vun engem Siliziumwafer ass eng Oxidschicht oder Silicaschicht op der bloer Uewerfläch vun engem Siliziumwafer ënner héijer Temperaturbedéngungen mat engem Oxidatiounsmëttel geformt.D'thermesch Oxidschicht vu Siliziumwafer gëtt normalerweis an engem horizontalen Rouerofen ugebaut, an de Wuesstumstemperaturberäich ass allgemeng 900 ° C ~ 1200 ° C, an et ginn zwee Wuesstumsmodi vun "naass Oxidatioun" an "dréchen Oxidatioun".Déi thermesch Oxidschicht ass eng "gewuess" Oxidschicht déi méi héich Homogenitéit a méi héich dielektresch Kraaft huet wéi d'CVD deposéiert Oxidschicht.Déi thermesch Oxidschicht ass eng exzellent dielektresch Schicht als Isolator.A ville Silizium-baséiert Apparater spillt d'thermesch Oxidschicht eng wichteg Roll als Doping-Blockéierungsschicht an Uewerfläch-Dielektrik.
Tipps: Oxidatiounstyp
1. Dréchen Oxidatioun
De Silizium reagéiert mat Sauerstoff, an d'Oxidschicht beweegt sech an d'Basalschicht.Dréchen Oxidatioun muss bei enger Temperatur vun 850 bis 1200 ° C duerchgefouert ginn, an de Wuesstumsrate ass niddereg, wat fir MOS Isolatioun Gate Wuesstum benotzt ka ginn.Wann eng héichqualitativ, ultra-dënn Siliziumoxidschicht erfuerderlech ass, gëtt dréchen Oxidatioun iwwer naass Oxidatioun bevorzugt.
Dréchen Oxidatiounskapazitéit: 15nm ~ 300nm (150A ~ 3000A)
2. Naass Oxidatioun
Dës Method benotzt eng Mëschung aus Waasserstoff a Sauerstoff mat héijer Rengheet fir bei ~1000 ° C ze brennen, sou datt Waasserdamp produzéiert fir eng Oxidschicht ze bilden.Och wann naass Oxidatioun net esou héichqualitativ Oxidatiounsschicht wéi dréchen Oxidatioun produzéiere kann, awer genuch fir als Isolatiounszon benotzt ze ginn, am Verglach mat dréchen Oxidatioun huet e klore Virdeel ass datt et e méi héije Wuesstumsrate huet.
Naass Oxidatiounskapazitéit: 50nm ~ 15µm (500A ~15µm)
3. Dréchen Method - naass Method - dréchen Method
An dëser Method gëtt reng trocken Sauerstoff an den Oxidatiounsofen an der éischter Etapp fräigelooss, Waasserstoff gëtt an der Mëtt vun der Oxidatioun bäigefüügt, a Waasserstoff gëtt um Enn gespäichert fir d'Oxidatioun mat reinen trockenem Sauerstoff weider ze maachen fir eng méi dichter Oxidatiounsstruktur ze bilden wéi de gemeinsame naass Oxidatiounsprozess a Form vu Waasserdamp.
4. TEOS Oxidatioun
| Oxidatiounstechnik | Naass Oxidatioun oder Dréchen Oxidatioun |
| Duerchmiesser | 2" / 3" / 4" / 6" / 8" / 12" |
| Oxid Dicke | 100 Å ~ 15µm |
| Toleranz | +/- 5% |
| Uewerfläch | Single Side Oxidation (SSO) / Double Side Oxidation (DSO) |
| Uewen | Horizontal Rouer Uewen |
| Gas | Waasserstoff a Sauerstoffgas |
| Temperatur | 900 ℃ ~ 1200 ℃ |
| Refraktiounsindex | 1.456 |
