Beschreiwung
Eis Firma liwwert SiC Beschichtungsprozessservicer duerch CVD Method op der Uewerfläch vu Grafit, Keramik an aner Materialien, sou datt speziell Gase mat Kuelestoff a Silizium bei héijer Temperatur reagéiere fir héich Rengheet SiC Moleküle ze kréien, Molekülen déi op der Uewerfläch vun de Beschichtete Materialien deposéiert sinn, SIC Schutzschicht bilden.
Main Fonctiounen
1. Héich Temperatur Oxidatioun Resistenz:
d'Oxidatiounsresistenz ass nach ëmmer ganz gutt wann d'Temperatur sou héich wéi 1600 C ass.
2. Héich Rengheet: gemaach duerch chemesch Dampdepositioun ënner héijer Temperatur Chloréierungskonditioun.
3. Erosiounsbeständegkeet: héich härt, kompakt Uewerfläch, fein Partikel.
4. Korrosiounsbeständegkeet: Säure, Alkali, Salz an organesch Reagenz.
Main Spezifikatioune vun CVD-SIC Beschichtung
| SiC-CVD Properties | ||
| Kristallstruktur | FCC β Phase | |
| Dicht | g/cm³ | 3.21 |
| Hardness | Vickers Hardness | 2500 |
| Grain Gréisst | μm | 2~10 |
| Chemesch Rengheet | % | 99,99995 |
| Hëtzt Kapazitéit | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Sublimatioun Temperatur | ℃ | 2700 |
| Felexural Kraaft | MPa (RT 4-Punkt) | 415 |
| Young's Modulus | Gpa (4pt Béi, 1300 ℃) | 430 |
| Thermal Expansioun (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Wärmeleitung | (W/mK) | 300 |
-
Silicon Carbide SiC Beschichtete Epitaxial Reaktor Ba ...
-
Graphit Susceptor mat Silicon Carbide Beschichtung ...
-
Silicon Carbide RTA Carrier Plate fir Semicondu ...
-
Quadrat Siliziumcarbid Wafer Boot
-
Héich Temperatur a korrosiounsbeständeg LED Si ...
-
PSS Veraarbechtung Carrier fir Hallefleitwafer ...